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◎本のあらすじ
LSIの作り方を設計から組み立て、検査まで、さらにはフォトマスクやウェーハの作り方まで含めて、工程順に易しく解説。半導体LSIに関しては多くの本が出版されています。しかし半導体LSIはどのようなものかを解説した内容がほとんどで、それがどのようにして作られていくのかを、工程を追って判り易く解説した本が欲しい、という声に応えました。
◎目次
第1章 半導体LSIとは
第2章 半導体製造技術及び装置技術の動向
第3章 設計工程
第4章 ウェーハ製造工程
第5章 フォトマスク製作工程
第6章 ウェーハ処理工程(前工程)
第7章 組立工程
第8章 検査工程
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所蔵

所蔵件数は1件です。

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No.所在場所置き場所分類図書記号巻冊記号資料コード形態状態禁帯
1市立図書館開架549.7 22920532図書在架