相模原市の図書館

  1. トップへ
  2. 資料検索
  3. 蔵書検索・予約
  4. 資料詳細

ログインしていません

蔵書検索・予約

ハイライト：ONOFF

◎本のあらすじ
ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
◎目次
第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは
高度情報化社会を支える放電技術　ほか）
第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子
電子の３つの顔　ほか）
第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突
放電開始　ほか）
第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜
プラズマＣＶＤ　ほか）
第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録
超ＬＳＩ　ほか）
◎著者紹介
小林 春洋
大正１４年福島県に生まれる。昭和２４年東北大学電気工学科卒業、東北大学工学部大学院特別研究生。昭和３１年東北大学工学部助教授、日本電気株式会社。昭和３３年工学博士（東北大学）。昭和４８年日電バリアン（株）（現キヤノンアネルバ（株））。昭和６０年（株）トーキン。昭和６３年同退職。１９７１〜１９８９東京都立大学工学部電気工学科非常勤講師。１９９１〜２００２東京電機大学工学部電子工学科非常勤講師。１９９２〜１９９５中央大学理工学部兼任講師(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
※予約できる点数は、１人１０点までです。
※長期未返却資料がある場合、お返しいただくまで新たな資料の予約申込みはできません。
※町田市に在住もしくは、多摩美術大学・東京工科大学・桜美林大学に在学、在勤で利用者登録されている方は、ホームページからの予約サービスは受けることができません。

所蔵

所蔵件数は1件です。

現在の予約件数は0件です。

No.所在場所置き場所分類図書記号巻冊記号資料コード形態状態禁帯
1相武台分館開架549 26051722図書在架

詳細情報

名称書誌情報
書名 ｴﾄｷ ﾎｳﾃﾞﾝ ｷﾞｼﾞﾕﾂ ｷｿ ﾉ ｷｿ
絵とき「放電技術」基礎のきそ
叢書名 ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ ｼﾘ-ｽﾞ
Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｓｅｒｉｅｓ
著者名１ ｺﾊﾞﾔｼ ﾊﾙﾋﾛ
小林　春洋／著
出版者 ﾆﾂｶﾝｺｳｷﾞﾖｳｼﾝﾌﾞﾝｼﾔ
日刊工業新聞社
出版年 2007
ページ 178P
サイズ 21
ＩＳＢＮ 978-4-526-05865-3
価格 0002100
内容紹介 ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
件名 プラズマ物理学　放電

サイトマップ