相模原市の図書館

  1. トップへ
  2. 資料検索
  3. 蔵書検索・予約
  4. 資料詳細

ログインしていません

蔵書検索・予約

ハイライト：ONOFF

◎本のあらすじ
製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！
◎目次
第１章　半導体製造装置を取り巻く現状
第２章　半導体製造装置をファブから理解する
第３章　洗浄・乾燥装置
第４章　イオン注入装置
第５章　熱処理装置
第６章　リソグラフィー装置
第７章　エッチング装置
第８章　成膜装置
第９章　平坦化（ＣＭＰ）装置
第１０章　検査・測定・解析装置
第１１章　後工程装置
◎著者紹介
佐藤 淳一
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
※予約できる点数は、１人１０点までです。
※長期未返却資料がある場合、お返しいただくまで新たな資料の予約申込みはできません。
※町田市に在住もしくは、多摩美術大学・東京工科大学・桜美林大学に在学、在勤で利用者登録されている方は、ホームページからの予約サービスは受けることができません。

所蔵

所蔵件数は1件です。

現在の予約件数は0件です。

No.所在場所置き場所分類図書記号巻冊記号資料コード形態状態禁帯
1相模大野図書館開架549.8 33771189図書貸出中

詳細情報

名称書誌情報
書名 ﾖｸ ﾜｶﾙ ｻｲｼﾝ ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ﾉ ｷﾎﾝ ﾄ ｼｸﾐ
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名 ﾌｧﾌﾞ ｶﾗ ｹﾝｻ ﾏﾃﾞ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ｵ ﾌｶﾝ ｽﾙ
ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
版名 第３版
叢書名 ｽﾞｶｲ ﾆｭｳﾓﾝ ﾊｳﾆｭｱﾙ
図解入門：Ｈｏｗ‐ｎｕａｌ
叢書名２ ｳﾞｨｼﾞｭｱﾙ ｶﾞｲﾄﾞﾌﾞｯｸ
Ｖｉｓｕａｌ　Ｇｕｉｄｅ　Ｂｏｏｋ
著者名１ ｻﾄｳ ｼﾞｭﾝｲﾁ
佐藤　淳一／著
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業株式会社（現、ＴＤＫ）に入社。１９８２年、ソニー株式会社に入社。半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
出版者 ｼｭｳﾜｼｽﾃﾑ
秀和システム
出版年 201912
分類 549.8
ページ ２６１ｐ
サイズ ２１ｃｍ
ＩＳＢＮ 978-4-7980-6037-8
価格 2000
内容紹介 半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者にもわかるよう解説した半導体製造装置の入門書。製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩がよくわかる。第３版。
件名 半導体製造装置

サイトマップ