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書名　：半導体製造装置用語辞典　第４版　
著者　：日本半導体製造装置協会
出版者：日刊工業新聞社
出版年：1997年
分類：R549
形態：図書
◎本のあらすじ
半導体デバイスを製造する７つの行程順に用語を分類、用語の追加、削除、統合を行い、２６１２語を収録した用語辞典。巻末に略語・日本語索引、英語索引が付く。
◎目次
第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章　設計工程用語
第３章　マスク製作工程用語
第４章　ウェーハ製造工程用語
第５章　ウェーハ処理工程用語
第６章　組立工程用語
第７章　検査工程用語
第８章　設備・環境工程用語

※マンガ、視聴覚（ビデオ・ＣＤ等）、禁帯出資料などは、予約の受付はしていません。

所蔵

所蔵件数は1件です。

No.所在場所置き場所分類図書記号巻冊記号資料コード形態状態禁帯
1市立図書館開架R549 15416605図書在架禁

詳細情報

名称書誌情報
書名 ﾊﾝﾄﾞｳﾀｲ ｾｲｿﾞｳ ｿｳﾁ ﾖｳｺﾞ ｼﾞﾃﾝ
半導体製造装置用語辞典　第４版
著者名１ ﾆﾂﾎﾟﾝﾊﾝﾄﾞｳﾀｲｾｲｿﾞｳｿｳﾁ
日本半導体製造装置協会／編
出版者 ﾆﾂｶﾝｺｳｷﾞﾖｳｼﾝﾌﾞﾝｼﾔ
日刊工業新聞社
出版年 199700
ページ 547P
サイズ 22
ＩＳＢＮ 978-4-526-04090-0　(4-526-04090-8)
価格 0004600

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