相模原市の図書館

ログインしていません

蔵書検索・予約

条件入力に戻る

ハイライト：ON OFF

出版年：2001年

分類：549.8

形態：図書

◎本のあらすじ: 本書は、半導体製造装置の入門書であるが、単に半導体製造装置の種類や技術を紹介するにとどまらず、半導体市場や技術との絡み、装置としての特殊性といった解説を交えて、読者がより広く半導体製造装置を捉えられるように執筆されている。

◎目次: 第０章　半導体製造装置という世界
第１章　半導体デバイスの製造工程
第２章　半導体製造装置の技術史
第３章　半導体製造装置の種類と役割
第４章　半導体製造装置の構成と方式
第５章　各種半導体製造装置の概要
第６章　半導体製造装置の現場
第７章　半導体製造装置の技術要素
第８章　半導体製造装置技術のロードマップ
第９章　２１世紀の半導体製造装置―半導体製造装置進化論

※予約できる点数は、１人１０点までです。
※長期未返却資料がある場合、お返しいただくまで新たな資料の予約申込みはできません。
※町田市に在住もしくは、多摩美術大学・東京工科大学・桜美林大学に在学、在勤で利用者登録されている方は、ホームページからの予約サービスは受けることができません。

所蔵件数は1件です。

現在の予約件数は0件です。

No.	所在場所	置き場所	分類	図書記号	巻冊記号	資料コード	形態	状態	禁帯
1	相模大野図書館	書庫	549.8			18969238	図書	在架