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◎本のあらすじ
ＭＥＭＳとは関わりが今までなかったが、これからこの分野に参入したい企業の方や学生の方のために著したのが本書である。本書では、ＭＥＭＳの製造方法、様々な応用と動作原理、そしてその設計手法について概説する。ＭＥＭＳ技術に興味を持つ方、特に他分野からＭＥＭＳ技術の応用を目指している技術者・研究者を想定して、できるだけ平易で実用的な内容とした。
◎目次
１章　身近で活躍するＭＥＭＳ
２章　ＭＥＭＳの製造方法
３章　ＭＥＭＳのパッケージング
４章　ＭＥＭＳ製造のキーポイント
５章　ＭＥＭＳにおける微細成形技術
６章　ＭＥＭＳセンサ
７章　ＭＥＭＳアクチュエータ
８章　ＭＥＭＳ設計・シミュレーションの実際
９章　フォトマスクの書き方
◎著者紹介
前田 龍太郎
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
池原 毅
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループ研究員。理学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
小林 健
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループ研究員。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
単 学伝
独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループ客員研究員。工学博士。Ｓｉｎｇａｐｏｒｅ　Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＳＩＭＴｅｃｈ）研究員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
※予約できる点数は、１人１０点までです。
※長期未返却資料がある場合、お返しいただくまで新たな資料の予約申込みはできません。
※町田市に在住もしくは、多摩美術大学・東京工科大学・桜美林大学に在学、在勤で利用者登録されている方は、ホームページからの予約サービスは受けることができません。

所蔵

所蔵件数は1件です。

現在の予約件数は0件です。

No.所在場所置き場所分類図書記号巻冊記号資料コード形態状態禁帯
1橋本図書館書庫530 25694068図書在架

詳細情報

名称書誌情報
書名 ｴﾑｲ-ｴﾑｴｽ ﾉ ﾊﾅｼ
ＭＥＭＳのはなし
叢書名 ｻｲｴﾝｽ ｱﾝﾄﾞ ﾃｸﾉﾛｼﾞ-
ＳＣＩＥＮＣＥ　ＡＮＤ　ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ
著者名１ ﾏｴﾀﾞ ﾘﾕｳﾀﾛｳ
前田　龍太郎／編著
著者名２ ｲｹﾊﾗ ﾂﾖｼ
池原　毅／（他）著
出版者 ﾆﾂｶﾝｺｳｷﾞﾖｳｼﾝﾌﾞﾝｼﾔ
日刊工業新聞社
出版年 2005
ページ 126P
サイズ 19
ＩＳＢＮ 978-4-526-05404-4　(4-526-05404-6)
価格 0001400
内容紹介 ＭＥＭＳとは関わりが今までなかったが、これからこの分野に参入したい企業の方や学生の方のために著したのが本書である。本書では、ＭＥＭＳの製造方法、様々な応用と動作原理、そしてその設計手法について概説する。ＭＥＭＳ技術に興味を持つ方、特に他分野からＭＥＭＳ技術の応用を目指している技術者・研究者を想定して、できるだけ平易で実用的な内容とした。
件名 マイクロマシン

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